연도별 정부과제

 

(2023)

 

▶ 중소기업기술정보진흥원, 중소기업기술혁신개발사업, 초고해상도 나노 광계측 기술 기반 반도체 분석용 Review AFM 시스템 개발

 

▶ 한국연구재단, 나노커넥트, 3D 반도체 공정 계측 및 분석을 위한 적외선 백색광 간섭계 현미경-주사탐침현미경 융합 시스템 개발

 

▶ 과학기술일자리진흥원, 미래선도연구장비 핵심기술개발, 멀티채널 백색광 간섭계 현미경 및 탐침 증강 나노 광학계 개발

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 소재부품기술개발사업, EUV Mask 결함 자동 계측 및 분석 기반의 AFM 자동 리페어 시스템 개발

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 소재부품기술개발사업, 반도체 공정용 원자 현미경 기반 계측 검사 솔루션 인라인 자동화 장비 기술 개발

 

▶ 한국연구재단, 원천기술개발사업, 감염병 신속 감별을 위한 고증폭 나노 구조체 광 습득 모듈 개발 및 데이터베이스 구축.

 

▶ 한국연구재단, 나노소재기술개발사업, 플라즈모닉 나노구조 다중파장/편광 적외선 필터 측정 평가 기술개발.

 

(2022)

 

▶ 한국연구재단, 나노커넥트, 3D 반도체 공정 계측 및 분석을 위한 적외선 백색광 간섭계 현미경-주사탐침현미경 융합 시스템 개발

 

▶ 과학기술일자리진흥원, 미래선도연구장비 핵심기술개발, 멀티채널 백색광 간섭계 현미경 및 탐침 증강 나노 광학계 개발

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 소재부품기술개발사업, EUV Mask 결함 자동 계측 및 분석 기반의 AFM 자동 리페어 시스템 개발

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 소재부품기술개발사업, 반도체 공정용 원자 현미경 기반 계측 검사 솔루션 인라인 자동화 장비 기술 개발

 

▶ 한국연구재단, 원천기술개발사업, 감염병 신속 감별을 위한 고증폭 나노 구조체 광 습득 모듈 개발 및 데이터베이스 구축.

 

▶ 한국연구재단, 나노소재기술개발사업, 플라즈모닉 나노구조 다중파장/편광 적외선 필터 측정 평가 기술개발.

 

(2021)

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 소재부품기술개발사업, 반도체 공정용 원자 현미경 기반 계측 검사 솔루션 인라인 자동화 장비 기술 개발

 

▶ 한국연구재단, 원천기술개발사업, 감염병 신속 감별을 위한 고증폭 나노 구조체 광 습득 모듈 개발 및 데이터베이스 구축.

 

▶ 과학기술일자리진흥원, 우수장비기술상용화사업, 초분광 광유도력 현미경 광학계 설계 및 개발.

 

▶ 한국연구재단, 나노소재기술개발사업, 플라즈모닉 나노구조 다중파장/편광 적외선 필터 측정 평가 기술개발.

 

(2020)

 

▶ 한국연구재단, 기본연구지원사업, 저차원 물질을 이용한 유전율 재단 나노 플라즈모닉 구조의 기능성 연구.

 

▶ 한국연구재단, 나노소재기술개발사업, 플라즈모닉 나노구조 다중파장/편광 적외선 필터 측정 평가 기술개발.

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 국가표준기술력향상기술개발사업, (RCMS)표면광분석 기술의 ISO 표준화와 전담 SC 설립.

 

▶ (재)나노융합2020사업단, 우수 연구성과 사업화 지원 사업, 고해상도 탐침형 나노광 모듈 및 융합현미경 시스템 개발.

 

▶ 과학기술일자리진흥원, 우수장비기술상용화사업, 초분광 광유도력 현미경 광학계 설계 및 개발.

 

▶ 식품의약품안전평가원, 레이저수술기의 종류별 성능 및 특성에 관한 연구.

 

 

(2019)

 

▶ 한국연구재단, 기본연구지원사업, 저차원 물질을 이용한 유전율 재단 나노 플라즈모닉 구조의 기능성 연구.

 

▶ 한국연구재단, 나노소재기술개발사업, 플라즈모닉 나노구조 다중파장/편광 적외선 필터 측정 평가 기술개발.

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 국가표준기술력향상기술개발사업, (RCMS)표면광분석 기술의 ISO 표준화와 전담 SC 설립.

 

▶ 중소기업청, 산학연협력기술개발사업, Sm 도핑 된 고출력 피코초 펄스 레이저용 3홀 Flow Tube 개발.

 

(2018)

 

▶ 한국연구재단, 나노소재기술개발사업, 플라즈모닉 나노구조 다중파장/편광 적외선 필터 측정 평가 기술개발

 

▶ 한국산업기술평가관리원, 국가표준기술력향상기술개발사업, 표면광분석 기술의 ISO 표준화와 전담 SC 설립

 

▶ (재)나노융합2020사업단, 우수 연구성과 사업화 지원 사업, 고해상도 탐침형 나노광 모듈 및 융합현미경 시스템 개발

 

▶ 중소기업청, 산학연협력기술개발사업, Sm 도핑 된 고출력 피코초 펄스 레이저용 3홀 Flow Tube 개발

 

▶ 한국표준과학연구원, 주요사업(협동공동), Optimization of infrared optoelectric devices by designing of dielectric constant

  

(2017)

 

▶ 한국연구재단, 기본연구지원사업, 저차원 물질을 이용한 유전율 재단 나노 플라즈모닉 구조의 기능성 연구

 

(2016)

 

▶ 한국연구재단, 중견연구자지원사업, 시분해 분광 기능 및 수중 동작 가능 근접장 현미경 개발 및 나노소재 특성분석

 

▶ 국가기술표준원, 학술연구용역, 표면플라즈몬 공명측정법 연구 및 KS 표준(안) 개발

 

(2015)

 

▶ 한국연구재단, 중견연구자지원사업, 시분해 분광 기능 및 수중 동작 가능 근접장 현미경 개발 및 나노소재 특성분석

 

(2014)

 

▶ 한국연구재단, 중견연구자지원사업, 시분해 분광 기능 및 수중 동작 가능 근접장 현미경 개발 및 나노소재 특성분석

 

▶ 국가기술표준원, 학술연구용역, 나노기술분야 표면플라즈몬공명(SPR) 표준 측정법 개발 연구

 

(2013)

 

▶ 기술표준원, 나노광분석기술 WG 국제표준 로드맵 도출 및 공초점 현미경 측정법 ISO 국제표준 제정